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序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
1 20254007-T-604
真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件
T 修订 50.15.04
2 20254084-T-604
真空技术 管路配件的装配尺寸 第1部分:非刀口法兰型
T 修订 50.15.04
3 20253950-T-604
真空技术 直角阀 尺寸和气动装置的接口
T 修订 50.15.03
4 20254083-T-604
真空技术 管路配件的装配尺寸 第2部分:刀口法兰型
T 修订 50.23
5 20254082-T-604
真空技术 刀口法兰尺寸
T 制定 50.23
6 20250074-T-604
真空技术  真空泵性能测量标准方法  第6部分:低温真空泵
T 制定 50.23
7 20253100-Z-604
真空技术 真空计 稳定型电离真空计特性
Z 制定 50.24
8 20250075-T-604
真空技术  真空泵性能测量标准方法  第5部分:非蒸散型吸气剂(NEG)真空泵
T 制定 50.24
9 20253958-T-604
真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
T 修订 30.20
10 20254040-T-604
真空镀膜设备通用技术条件
T 修订 30.20
11 20254132-T-604
真空泵 安全要求
T 修订 30.20
序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
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