标准项目列表

序号	计划号	项目名称	性质	制修订	阶段代码
1	20264996-T-469	多轴干涉镜组测试方法第1部分：光学性能	T	制定	20.20
2	20265015-T-469	半导体制造用高纯聚合物组件测试方法第2部分：颗粒物	T	制定	20.20
3	20264990-T-469	高速双频激光干涉仪的轴卡延迟特性测试	T	制定	20.20
4	20265001-T-469	高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试	T	制定	20.20
5	20265014-T-469	多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移	T	制定	20.20
6	20250709-T-469	集成电路封装设备远程运维故障诊断与预测性维护	T	制定	50.14.06
7	20252259-T-469	锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法	T	修订	40.20
8	20264533-T-469	电子级丙二醇甲醚醋酸酯	T	制定	20.20
9	20264380-T-469	高速双频激光干涉仪动态特性测试方法	T	制定	20.20
10	20264378-T-469	电子化学品气态分子污染物测试方法	T	制定	20.20
11	20264561-T-469	精密金属掩膜版用电解清洗液	T	制定	20.20
12	20264565-T-469	电子化学品气相色谱测试方法通则	T	制定	20.20
13	20264563-T-469	电子级三（二甲氨基）硅烷	T	制定	20.20
14	20264562-T-469	电子级三（N,N'-二异丙基甲脒基）镧	T	制定	20.20
15	20264558-T-469	集成电路用边胶清洗剂	T	制定	20.20
16	20264560-T-469	电子级硫酸钴	T	制定	20.20
17	20264559-T-469	电子级γ-丁内酯	T	制定	20.20
18	20264555-T-469	电子级四氢呋喃	T	制定	20.20
19	20264557-T-469	电子级双氧水	T	制定	20.20
20	20264556-T-469	电子级二碘硅烷	T	制定	20.20
序号	计划号	项目名称	性质	制修订	阶段代码