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序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
1 20262725-T-469 
电子气体  三氟化硼-11B
 T 制定 20.20
2 20262758-T-469 
电子气体  蚀刻用混合气体
 T 制定 20.20
3 20262760-T-469 
电子气体  扩散用混合气体
 T 制定 20.20
序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
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