标准项目列表

序号	计划号	项目名称	性质	制修订	阶段代码
1	20231112-T-469	碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法	T	修订	50.50
2	20231108-T-469	碳化硅单晶片微管密度测试方法	T	修订	50.50
3	20231113-T-469	半导体晶片直径测试方法	T	修订	50.50
4	20231115-T-469	LED外延芯片用砷化镓衬底	T	修订	50.50
5	20233945-T-610	硅片径向电阻率变化测量方法	T	修订	50.14.06
6	20233951-T-610	非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法	T	修订	50.14.06
7	20231111-T-469	半导体单晶材料透过率测试方法	T	制定	50.14.06
8	20111476-Q-469	改良西门子法生产多晶硅安全规范	Q	制定	50.03
9	20240142-T-469	蓝宝石单晶衬底抛光片	T	修订	40.20
10	20240143-T-469	重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法	T	修订	40.20
11	20240139-T-469	硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	T	修订	40.20
12	20241932-T-469	碳化硅单晶	T	制定	30.20
13	20250729-T-469	碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法	T	制定	20.20
14	20250822-T-469	200mm碳化硅单晶抛光片	T	制定	20.20
15	20250813-T-469	半导体晶片近边缘几何形态评价第3部分：扇形区域平整度法(ESFQR、ESFQD、ESBIR）	T	制定	20.20
16	20250731-T-469	碳化硅外延层载流子寿命的测试瞬态吸收法	T	制定	20.20
17	20241934-T-469	太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片	T	修订	30.20
18	20250577-T-469	化学气相沉积用硅喷射管	T	制定	20.20
19	20250575-T-469	高温扩散用硅舟及硅保温筒	T	制定	20.20
20	20250148-T-469	300 mm硅片表面纳米形貌的评价方法	T	制定	20.20
序号	计划号	项目名称	性质	制修订	阶段代码