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序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
1 20251902-T-469
洁净室及相关受控环境 干式洁净室技术要求
T 制定 20.01
2 20241513-T-469
洁净室及相关受控环境 运维服务
T 制定 50.14.03
3 20251852-Z-469
洁净室及相关受控环境 第21部分:空气粒子采样技术
Z 制定 20.20
4 20242272-T-469
洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求
T 制定 20.20
5 20241514-T-469
洁净室门通用技术要求
T 制定 20.20
序号 计划号 项目名称 性质 制修订 阶段代码
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