| 1 |
20221868-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 2 |
20221875-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 3 |
20221867-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 4 |
20221869-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 5 |
20221874-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 6 |
20220972-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术要求
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 7 |
20221872-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 8 |
20221871-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 9 |
20221873-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
|
T
|
制定
|
40.20
|
| 10 |
20221870-T-469
|
微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器
|
T
|
制定
|
40.20
|